引进日本技术，针对太阳能电池市场需求而开发的高性能多晶硅铸锭设备。该设备将多晶硅碎块料、头尾料、锅底料、各种单晶废片等材料装入炉内化料的石英坩埚内，经融化、重新定向结晶及退火等工艺,铸成生产太阳电池的前道原料——多晶硅锭。
高产能：
融合当代各种精密技术，装料量大，大幅提升产能；
安全性：
采用陶瓷纤维+石墨硬毡双重安全防护设计并有自动漏硅感应系统，可及时启动漏硅应急措施。其卓越的安全性能，大幅降低事故隐患。
高品质：
特有的性能加热系统与保温措施，能保证结晶过程中硅材料电阻率的均匀性和一致性，并有效降低耗能，减少企业成本。
自动化：
中央集成控制系统，具有高速微处理器的检测与处理。
完善的服务：
完善的售前服务，整体的生产培训，技术人员驻厂服务，及时的机械零部件配件，定期回访客户，实时的软件升级更新。
| 型号 | HXH-800 | ||
| 产品规格 | 投料量 | 800kg装料 | |
| 晶锭尺寸 | 1000mm×1000mm×350mm | ||
| 设备真空度 | 结晶环境 | 55-60kPa(工艺要求) | |
| 空冷炉极限真空度 | 3Pa以下 | ||
| 允许漏泄量 | 5Pa/Hr以下 | ||
| 重量 | 主炉体 | 约4800kg | |
| 机架 | 约1180kg | ||
| 操作台 | 约2100kg | ||
| 操作箱 | 约50kg | ||
| 控制箱 | 约400kg | ||
| 电源箱组 | 约2500kg | ||
| 主机外形尺寸 | 3900mm×4910mm×5735mm | ||
| 腔体 部件 规格 |
内径 | 2104mm | |
| 材质 | 内：SUS304L 厚度为：14mm | ||
| 内：SUS304L 厚度为：8mm | |||
| 高度 | 上腔体：2000mm | ||
| 下腔体：1105mm | |||
| 炉盖厚：65mm | |||
| 三组电极中心距 | 900mm | ||
| 观察窗 | 测温及观察：一处 | ||
| 冷却水流路分隔 | 螺旋形构造 | ||
| 冷却水排水口 | 炉体各部件顶部 | ||
| 保温罩 升降机构部件规格 |
升降驱动方式 | 自动/手动 | |
| 升降轴行程 | ≤380mm | ||
| 限位开关 | 两处（上限、下限） | ||
| 下腔体升降机构部件规格 | 升降驱动方式 | 自动/手动 | |
| 升降行程 | 1000mm | ||
| 限位开关 | 两处（上限、下限） | ||
| 真空管路系统部件规格 | 主真空管道的接口尺寸 | ISO-K100 | |
| 轴真空管道的接口尺寸 | ISO-KF16 | ||
| 控制蝶阀 | 自动/手动 | ||
| 炉压控制精度 | ±0.10kPa | ||
| 接口位置 | 上炉筒的左侧面（主真空机组） | ||
| Ar气管路 | 流量 | MAX 100L/min（用MFC控制Ar） | |
| 系统部件 | 输入压力 | 0.27MPa以上 | |
| 规格 | 端口位置 | 炉盖上部 | |
| 冷却水系统 部件规格 |
冷却水源输入输出口为螺纹连接，通径尺寸 | Ø50mm(Rc2") | |
| 流量 | ≤180-220 L/min | ||
| 水压 | 4kgf/cm² - 4.5kgf/cm² | ||
| 进出水压力差 | 2 kg/cm² 以上 | ||
| 进水温度 | 15~25℃ | ||
| 电器 控制 系统 |
加热器电源 部件规格 |
输入电压：380V AC三相五线制（50Hz） 320A | |
| 加热器功率：173KW(AC 0-25V 0-4000A) | |||
| 输出控制方式：温度控制/功率控制 | |||
| 功率控制精度：额定输出±1%以内 | |||
| 温度测定系统 部件规格 |
①B型热电偶 测定范围：0-1800℃ 重复精度：±0.5℃(或±0.0025%全量程) |
②红外测温仪 重复精度：0.1%(全量程) 测定范围：600-3000℃ 测定波长：0.85-1.1μm |
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| 工艺控制方式 | 控制器构成 | 工业控制计算机 | 高性能PLC |
| 控制方式 | ①装料:手动 ②抽真空:手动/自动 ③加热:手动/自动 ④溶解、稳定:手动/自动 ⑤凝固、结晶:手动/自动 ⑥退火:手动/自动 ⑦冷却:手动/自动 ⑧取出:手动 |
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